Dreidimensionale Strukturen von mikroelektronischen Halbleitererzeugnissen

Topographie

Dreidimensionale Strukturen von mikroelektronischen Halbleitererzeugnissen (Topographien) werden nach Maßgabe des Halbleiterschutzgesetzes geschützt, wenn und soweit sie Eigenart aufweisen.

siehe auch

HalblSchG → Halbleiterschutzgesetz