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+ | Dreidimensionale Strukturen von mikroelektronischen Halbleitererzeugnissen ([[Topographie|Topographien]]) werden nach Maßgabe des [[Halbleiterschutzgesetz|Halbleiterschutzgesetzes]] geschützt, wenn und soweit sie [[Eigenart]] aufweisen. | ||
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+ | HalblSchG -> [[Halbleiterschutzgesetz]] |
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